國內(nèi)首個完整硅光流片能力平臺

面向后摩爾時代微電子與光電子的發(fā)展需求,中國科學(xué)院微電子所基于 8 英寸 CMOS 工藝線開發(fā)國內(nèi)首個具有完整硅光工藝流片能力的 8 英寸硅光 平臺。